第章徒搓晶圓劉，鄒，們确實沒糊弄?林剛把話說完，就覺自己些冒失。

因為視頻裡兩都處航基來。

就拿劉成棟而言，本基把，論起職位級别比林衛國這個電所所長還麼頭。

林衛國也仗着齡，資曆老，才會喊對方聲劉。

至于另位鄒穎就更必說，基技術部門負責，經常會與電所這樣兄弟單位進作交流，對彼此況也非常熟悉。

就拿最先研發投産虛拟投腕表而言，裡面幾項核技術就采用電所技術儲備。

從這樣兩個位職熟得制造原子級别精度刻機事，林衛國就免起幾分将信将疑。

沒辦法，誰讓這兩提到原子級别精度實太匪夷所點！

說到這，就得先簡單提芯片制造個流程：晶圓加-氧化-刻-刻蝕-膜沉積-互連-測試-封裝。

而其最為關鍵技術步驟，就刻。

甚麼刻?

簡單點理解就通過特殊波動線将設計好電圖案印刷到晶圓。

現目面主流刻機，按照制程範圍以分兩種：種通過準分子激，将納米源進折射DUV刻機。

DUV刻機基本隻能到納米級别，像著名因特爾公司就采用雙作台魔改方式将DUV刻機精度到納米，但無法達到納米以。

過DUV刻已經過式，另種更加先進EUV刻機，采取等離子激發射，能發射源波波長能達到。納米。

這個曝精度區間，些先進點晶圓廠利用層曝段，亦或作平台疊加，幅度提分辨率，讓曝刻蝕電精度級别得到數倍提，從而産納米甚至更級别納米芯片。

但這樣取巧方法帶來結果就，最終晶圓流片良品率偏，進而導緻芯片制造成本成倍。

這也為何，端芯片價格始終居。

解決這個問題，就必須斷提刻機曝精度，改善芯片制造藝。

麼陳決提。納米精度甚麼概?

就目類掌握精度級别，别說國這些電所些半半導體研發企業，就算交給個業龍頭風車國ASML公司都得耗費幾、甚至半個世紀追趕。

旦拿到這樣精度級别刻母機，别說甚麼納米、納米芯片，就算規格、性能再提百倍、千倍芯片都能分分鐘造來。

這也為何林衛國聽到這個消息後，會表現如此震驚，實因為基這邊這顆衛放太些。

……

林所，這麼事，們敢忽悠您啊！

就這裡頭涉及到些機密技術，太方面視頻裡說。

您老放，就抓緊帶批制造刻母機原材料過來！數量越越好，過這就沒這個！劉成棟視頻電話裡頗為焦急說。

因為按照陳覺之表現态度來，這貨随時都能會因為個突然起頭就離開基。

而且陳決次離開時，非常潇灑幹脆攔都沒法攔。

回教訓過後，沒将刻母機拿到之，劉成棟懸着就能放。

好視頻頭林衛國也迂腐之，航基背後涉及第園秘密已經夠驚世駭俗。

這個基礎，基這邊突然拿制造原子級别精度刻母機技術，貌似也變得理起來。

于乎，通話與鄒穎劉成棟再确認幾遍後，林衛國就馬調動個電所作員，将批制造刻機所需部件、原材料，以及堆藝流程資料送面排鲲鵬運輸機。

自己本也帶着電所個幾型團隊，跟着這批物料速趕往隴省航基。

……