第章國産DUV源

因為激器裝運需環境很苛刻，所以都成為個部件。

而之闖，李由等也将目主流幾個刻機個遍，摸個遍，已胸成。

經曆過像涉世未輕，會輕易因為理解産質疑而憤。

用産品打臉才最讓們爽事。

既然貴司準備好适配，們實驗這個型号機器，就讓們拭目以待吧。

趙興接着又補句：先簽個同，以免實驗過程現，造成必損失，沒問題吧?

自無。

顧青笑着答應來，當然理解對方。

刻機雖然沒某些車貴，但卻比車難造，弄壞台都血虧。

們半導體部門隊伍其廠調适配源設備時候都交筆試驗費用保證。

甚至法務部都幾份相關同模闆來。

簽同，趙興才帶着顧青到另個研究。

對于已經建好刻機作間，每次實驗都非常昂貴。

穿堪比防護作，李由等帶着數個源設備部件進入刻機超潔淨作間。

趙興着這幾很熟練打開刻機系統，将源設備更換後，又很熟練分成兩隊。

李由這隊旁電腦作台指飛調參數，張岩泰則帶着自己這隊刻機激調、能量控制器這些方進調。

雖然源設備适配這個刻機，但很問題需處理，然别說芯片造來，刻機損壞都很正常。

作半後，李由與張岩泰起審查遍，這才對着間攝像頭比個OK勢。

趙教授，實驗就開始。顧青提。

趙興點點頭。

論（NUV）激還（DUV）激，又或者最端極EUV。

們都個字，并非很奧問題，因為這幾個源都名副其實源。

州科技半導體部門研發穩态微聚束SSMB源，為這個分辨率nmSA刻機适配源設備DUV。

源設備運，激器發射來

經過矯正後，進入能量控制器、束成型裝置等設備，再進入掩膜台。

掩膜台面放測試用掩膜，之後經過物鏡投射到曝台。

曝台放置着張英寸晶圓片，面塗抹刻膠。

半個時後……當然芯片這麼點時間就以來，但其作狀态試運成果卻能判斷。

這，這，這……

這居然真，國産DUV源?夢吧，老趙。

純淨度極為優秀

剛剛還些負氣輕程師此刻着作間裡面刻機，嘴巴自覺張，神些渙散。

李由作為個，很照顧後輩。

到這旁，拍拍肩膀。