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《科技強國從升級鏡頭開始》第83章 現在就拆給你看!(第1頁)

刻作為芯片制造流程最關鍵環節,其基本原理其實很簡單,就,來完成對矽片雕刻。

矽片,就像布,而刻機則儀,

如果投布表面現起伏,畫面自然就會扭曲變形。

,矽片表面瑕疵,則會導緻投設計變形,從而導緻良率,甚至張晶圓報廢。

所以得到張能用來制造芯片矽片,則需把切割後單晶矽片進打磨,直至表面平nmRMS。

這相當于院挂幕布,表面起伏能超過根頭發絲,無限接于完美鏡面。

因此,這對矽片制造抛求,自然就顯得極其

從圓珠筆頭鋼珠,到芯片原材料矽片,再到刻機鏡片,最後甚至表面完美無暇滴……

其實考驗個文,就能把個物品造得精細。

而造精細,自然就需空氣幹淨潔淨然空氣塵細菌,再麼打磨造矽片。

其實這些們通過仿制島國設備,已經以達到nmRMS,但無論們再麼檢查,怕每個零件都已經達标,但依然沒辦法繼續突破……

嚴輝穿邊穿着防護邊向康馳介紹着研究進度。

抛到nmRMS用麼抛液?

以SiO為基礎,加入-wt%雙氧,最後用KOH調節pH到

康馳點點頭:先再說吧。

穿好防護後,很就來到實驗,然後由嚴輝主持,向康馳演示次抛實驗。

傳統矽片抛打磨,通常會先用機械抛機,對矽片進初步打磨,再清洗,最後進化學機械抛,也稱為精磨。

精磨種利用抛化學腐蝕功能,配機械轉盤機械打磨,兩者互相配來達到矽片藝标準。

實驗結果nmRMS,比們能極限還差

康馳沉片刻,然後說:換成wt%AlO基液,加wt%錳酸鉀作為化學抛液,用wt%HNO調成PH值再試遍。

嚴輝點點頭,帶着研究員們調配好抛液,然後次實驗。

nmRMS。

到這個結果,原本還期待嚴輝,抹失望

但康馳卻依然為所動,又報組抛液配比,讓次實驗。

nmRMS。

?

?!

嗎?

雖然顯然遠遠達标,但嚴輝卻似乎識到麼,些驚訝轉頭向康馳。

……計算好?

吧。

康馳點點頭。

嚴輝徹底呆

,化學機械抛技術難點,除設備達标之,還根據設備性能、矽片參數,來調配化學抛液,以達到化學抛機械抛完美配

調試得好,首先就需對設備如指掌,其次這豐富液調配經驗。

但康馳僅僅隻通過次實驗演示,就能似輕松兩組同成分液,并後續實驗,達到同數值度……

點匪夷所吧?

已經參與過無數次測試嚴輝,經過計算機模拟,也絕對到如此精準控制,

估計誤差至nmRMS。

些難以置信到底?

嗯,也說來……某種直覺吧,對機械,敏度還挺

康馳片刻,又接着說

估計伱這台抛機,能穩定發揮正常平,應該就nmRMSnmRMS隻們因為偶然因素才達到,肯定會超過次。

嚴輝再次愣愣,顯然被康馳猜

确實,隻次……

康馳本來還說點麼,結果肚子都已經餓得咕咕叫

時間,發現輪實驗過後,竟然已經覺都到點。

個沒注都這這麼……趕緊收拾收拾,先飯吧,今辛苦

嗯。嚴輝點點頭完飯,點再回來繼續。

回來繼續?康馳奇怪,繼續幹嘛?

實驗啊。

沒用,這根本比例問題,們這無用功。康馳直接搖頭完飯點回洗洗吧,們再過來把抛機拆,如果沒猜錯話,設備問題。

聽到康馳竟然已經猜到問題所,嚴輝頓時些激動:用等們現以把拆給

康馳嚴輝,也累

……

嚴輝由尬

咳咳……抱歉,才剛從鋼趕過來。

沒從鋼趕過來,這個點也該飯休息們也,以後能加班就别加班,雖然時間緊迫,但作也講究效率,而堆時間,都把,還搞麼研究?

……

等收拾完實驗,脫掉防護來到公司時候,已經

因為矽片産部門,加研發制造科研狗經常通宵加班,所以公司堂也時供應種,随時來都

堂打飯阿姨到嚴輝後,态度相當熱,往飯盤裡打菜都更

康馳忍阿姨

嗯……

雖然紀稍微點,但勉強也算得風韻猶

咳咳,。嚴輝到康馳複雜表,連忙輕咳老闆,估計打得更……

麼都沒說,緊張麼?

嚴輝:……

……

完飯後,康馳便通過電話,聯系公司政主管,然後帶領起來到公司幫準備好子。

棟雙層别墅,兩廳,相當别緻。

,顯得空曠點。

嗯,

把康馳送到後,就,估計隔壁棟?

康馳也沒邀請自己

然兩個檐,

成何體統!?

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