刻作為芯片制造流程最關鍵環節,其基本原理其實很簡單,就用,來完成對矽片雕刻。
刻矽片,就像挂牆投布,而刻機則投儀,
如果投布表面平,現起伏,投畫面自然就會扭曲變形。
刻,矽片表面瑕疵,則會導緻投電設計變形,從而導緻良率,甚至張晶圓報廢。
所以得到張能用來制造芯片矽片,則需把切割後單晶矽片進抛打磨,直至表面平度于。nmRMS。
這相當于電院挂塊幕布,表面起伏能超過根頭發絲,無限接于完美鏡面。
因此,這對矽片制造抛藝求,自然就顯得極其。
從圓珠筆頭鋼珠,到芯片原材料矽片,再到刻機鏡片,最後甚至科體表面完美無暇滴……
其實考驗個文業平度,就能把個物品造得精細。
而造精細東,自然就需空氣幹淨潔淨,然空氣全塵細菌,再麼打磨造格矽片。
其實這些們通過仿制島國設備,已經以達到。nmRMS平度,但無論們再麼檢查,怕每個零件都已經達标,但依然沒辦法繼續突破……
嚴輝穿邊穿着防護,邊向康馳介紹着們研究進度。
抛到。nmRMS用麼抛液?
以SiO為基礎,加入-wt%雙氧,最後用KOH調節pH到。。
康馳點點頭:先再說吧。
兩穿好防護後,很就來到抛實驗,然後由嚴輝主持,向康馳演示次抛實驗。
傳統矽片抛打磨,通常會先用機械抛機,對矽片進初步打磨,再清洗,最後進化學機械抛,也稱為精磨。
精磨種利用抛液化學腐蝕功能,配機械轉盤機械打磨,兩者互相配來達到矽片藝标準。
實驗結果。nmRMS,比們能極限還差。
康馳沉片刻,然後說:換成wt%AlO基液,加wt%錳酸鉀作為化學抛液,用wt%HNO調成。PH值再試遍。
嚴輝點點頭,帶着研究員們調配好抛液,然後進次實驗。
平度。nmRMS。
到這個結果,原本還點期待嚴輝,由抹失望神。
但康馳卻依然為所動,又報組抛液配比,讓們進第次實驗。
平度。nmRMS。
。?
還。?!
巧嗎?
雖然。顯然遠遠達标,但嚴輝卻似乎識到麼,些驚訝轉頭向康馳。
……計算好?
算吧。
康馳點點頭。
這嚴輝徹底呆,
,化學機械抛技術難點,除抛設備件達标之,還根據設備性能、矽片參數,來調配化學抛液,以達到化學抛機械抛完美配。
調試得好,首先就需對設備如指掌,其次這豐富抛液調配經驗。
但康馳僅僅隻通過次實驗演示,就能似輕松報兩組同成分抛液,并後續實驗,達到同數值平度……
這點匪夷所吧?
怕已經參與過無數次測試嚴輝,沒經過計算機模拟況,也絕對到如此精準控制,
估計誤差至得個。nmRMS。
些難以置信問:到底麼到?
嗯,也說來……能某種直覺吧,這對機械東,敏度還挺。
康馳索片刻,又接着說,
估計伱這台抛機,能穩定發揮正常平,應該就。nmRMS,。nmRMS隻們因為偶然因素才達到,肯定會超過次。
嚴輝再次愣愣,顯然被康馳猜。
确實,隻次……
康馳本來還說點麼,結果肚子都已經餓得咕咕叫,
時間,發現輪實驗過後,竟然已經覺都到點。
好,個沒注都這這麼……趕緊收拾收拾,先飯吧,今辛苦們。
嗯。嚴輝點點頭,完飯,點再回來繼續。
回來繼續?康馳由奇怪表,繼續幹嘛?
實驗啊。
沒用,這根本抛液比例問題,們這無用功。康馳直接搖頭,完飯點回洗洗吧,們再過來把抛機拆,如果沒猜錯話,們設備裝問題。
聽到康馳竟然已經猜到問題所,嚴輝頓時些激動:用等,們現就以把擡拆給!
康馳嚴輝:餓,也累。
……
嚴輝由尬。
咳咳……抱歉,忘今才剛從鋼趕過來。
就沒從鋼趕過來,這個點也該飯休息,們也,以後能加班就别加班,雖然時間緊迫,但們作也講究效率,而堆時間,都把暈,還搞麼研究?
……
等收拾完實驗,脫掉防護來到公司堂時候,已經點,
因為矽片産部門時,加研發制造科研狗經常通宵加班,所以公司堂也時供應種,随時來都。
堂打飯阿姨到嚴輝後,态度相當熱,往飯盤裡打菜都更。
康馳忍,阿姨,
嗯……
雖然紀稍微點,但勉強也算得風韻猶。
咳咳,别。嚴輝到康馳複雜表,連忙輕咳,就老闆,估計打得更……
麼都沒說,緊張麼?
嚴輝:……
……
完飯後,康馳便通過電話,聯系公司政主管,然後帶領,陳起來到公司幫提準備好子。
這棟雙層别墅,兩廳,相當别緻。
就個,顯得空曠清點。
嗯,
陳把康馳送到後,就,估計隔壁棟?
康馳也沒邀請自己起,
然兩個男同檐,
成何體統!?