臨，蘇省學微電子學院。

通入甲基矽胺烷……

矽片脫完成，增粘處理完成，開始旋轉塗膠。

……

這已經們進次實驗流程，除操作員時時進流程彙報之，實驗悄然無聲。

數名研發員都靜靜堅守着自己崗位，偶爾擡頭設備運況，以及站操控台間位老。

塗膠檢測完畢，未發現氣泡，開始曝烘……烘完畢，刻機準備曝……

實驗條紊推進，終于到曝環節。

每次進入曝環節，秒鐘，都讓吳利鴻覺像個世紀麼長……

而曝過程，加裝件台測量儀器也同時進瘋狂數據收集。

曝結束，進入後烘環節，曝數據正分析……

曝過程總産氣量……彙報結果研究員頓，然後用顫抖語氣數值，方納米！

嘩——！

聽到這個結果，個實驗都頓時靜來，随後便陣陣驚呼聲。

竟然真緻産酸劑BR-側鍵問題！

吳院士牛逼啊！

……

雖然後烘具體數據還沒來，但這個産氣量數據，就已經稱得史無例突破！

塗滿寸矽片刻膠，曝過程，才産僅僅方納米氣體，

而這麼産氣量，刻膠曝邊緣肯定非常滑平。

這就着更清晰度，以及更制程。

以說，們已經徹底解決刻膠最棘産氣量問題！

吳利鴻聽到這個數據後，臉也禁浮現起抹如釋負笑容，但這卻讓臉皺紋褶子更……

過約分鐘，曝後矽片也已經完成後烘，并對曝部分刻膠進溶解清除，然後又進次堅膜烘焙，加固刻膠形成電保護膜。

接來，就們這個實驗環節最電圖像清晰度分析。

而最終分析結果也果然們所料，%産氣量後，們得到電保護膜，表面非常滑平，沒現任何坍塌變形！

膜正常，套刻精度正常！

聽到這個結果，所頓時都激動着吳利鴻。

事實實驗進到這步，已經基本以肯定們EUV刻膠，已經達到。納米制程标準。

因為們蘇省微電子所精力，都用來研發刻膠，對曝等壓縮制程藝，沒太研究，所以。納米隻們研究所最制程藝。

而這款刻膠具體最制程，得申矽産業或者昂微來進步驗證，尤其最拿到EUV刻機申矽産業，經過這幾個摸索調試，們已經把制程藝推到nm。

過為穩妥起見，吳利鴻還按捺激動，對開：即準備蝕刻實驗驗證，确認最後環節沒問題再送到申矽産業。

！

研究員們聽到後，頓時又開始忙碌起來。

本來按照們之實驗流程，實驗到這步基本就失敗，這次其實根本就沒好進入蝕刻環節準備。

但面對這個到巨驚，卻沒絲‘臨時加班’怨言，個個都吭哧吭哧開始準備實驗。

兩個時後，最終結果終于爐。

們研發刻膠，成功經受幹法刻蝕能粒子洗禮，順利完成保護矽片基底任務，芯片良品率達%！

吳利鴻院士帶領，蘇省學微電子研究員，終于成功研發款能勝任。nm制程國産頂級EUV刻膠！

而且這個。納米制程，隻目初步實驗結論。

從們這次得到套刻精度來，這款刻膠實際相當能，以勝任納米制程芯片制造！

吳利鴻也非常沉得氣，沒選擇即将實驗結果報，而讓研究員們按照次配方，調配批刻膠。

然後複次實驗，确認每次結果誤差都接受範圍後，才帶着刻膠團隊主技術員飛往魔都，來到申矽産業集團。

此時申矽産業集團總裁陳雲恰好華威餘總何總，讨論華威P芯片代問題。

而雙方讨論點，就産量成本問題。

華威本着量從優理，直接訂購兩千萬枚麒零。

但申矽産業現，其實也就隻台秦号。

按照秦号每時片矽片吞吐量，以及制造每片晶圓以切割枚芯片來算，台刻機每産能應該萬枚。

但實際，刻機吞吐量代表晶圓制造速度，而根據同芯片設計，進次曝蝕刻。

以麒零為例，需經過次刻-蝕刻循環，才能完成個晶圓制造環節，

也就說，每理論隻能造萬枚。

這還建設備時機休息維護，以及%良率基礎之。

因此實際産能，平均每能萬枚，就已經很錯。

兩千萬枚芯片訂單，差個才能完成，還把所産能，都壓榨給華威況。

何況如此負荷運轉，們刻膠庫，都能能撐得……

……們也得考慮成本，也時間來研發nm制程藝，希望們也能考慮們難處。

陳雲實點受兩位老總軟磨泡，最終拍闆，

就這樣吧，給兩個方案，個元萬枚，個元萬枚，萬極限，已經很夠。

呃……

餘總刻裡算筆賬。

按照台機電納米制程，美元片晶圓價格來算，約等于每枚nm制程芯片代費，元。

但台積電代按晶圓來算，廢品都給算錢，而陳雲剛剛報當個芯片價格，等于掉廢品，所以-元代費，這個特殊時期，确實相當。

陳總，這買賣越越貴理……

這況特殊嘛，如果庫刻膠消耗完之，國産刻膠沒動靜，們刻機也沒得用啊，隻能先省着點……

其實還個辦法，就伱們康博士借點刻膠給們，子賊精得很，就讓們幫屯刻膠，現漢芯業刻機屯得比們還！

每每到這裡，陳雲都點後悔當初沒聽康馳，提屯點刻膠。

主，當初誰能到能這麼搞EUV刻機……

就餘總還考慮着，百萬枚到底能撐久時候，陳雲突擊接到吳利鴻電話。

吳院士?等等……說麼?測試刻膠?就到樓?！

……

放電話陳雲，過半響才緩過神，然後連忙打個電話給董建元，讓接吳利鴻。

處理完這些後，才轉頭向華威兩個老總，臉激動說：們救來！

(本章完）